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海内十大晶圆厂装备招标效果剖析：上海利来老牌国际官网app装备国产化率最高！
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芯智讯
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2022-05-14
5月12日新闻，据招标平台信息显示，5月10日，上海利来老牌国际官网app半导体多项装备中标效果宣布 。
效果显示，北方华创、拓�？萍肌⑿驹次ⅰ⑺孤螅ˋSML）等乐成中标上海利来老牌国际官网app特色工艺生产线项目33台装备 。
其中，北方华创中标10台装备，包括合金化工艺低压立式炉管、缓冲层氧化膜炉管、铝刻蚀机、铝金属物理气相沉积机、铝铜金属溅射装备等；拓�？萍贾斜�3台二氧化硅等离子薄膜沉积装备、8台二氧化硅氮化硅氟化硅氮氧化硅等离子薄膜沉积装备；芯源微中标1台聚合物涂胶显影机；阿斯麦（ASML）中标2台i-line光刻机、1台KrF光刻机 。
以此盘算，北方华创、拓�？萍肌⑿驹次⑷液霞浦斜炅空急仍�67%，国产装备比重较大 。
那么，从今年1-4月海内主要晶圆厂关于半导体装备采购的中标情形来看，国产半导体装备的占比又有多高呢？
海内十大晶圆厂今年1-4月装备采购累计开标401台
由于半导体装备应用的工艺流程和主要性的差别，我们主要统计光刻、刻蚀、沉积、洗濯等涉及焦点工艺的要害装备中标情形，并将要害半导体装备区分为制程焦点装备（包括光刻、刻蚀、沉积、离子注入装备）、良率提升装备（包括前道检测装备、后道测试装备、洗濯装备）以及主要辅助装备（包括炉管装备、CMP 抛光装备、干法去胶装备、涂胶显影装备），并扫除二手翻新装备影响 。
通过对长江存储、华力集成、华力微电子、福建晋华、华虹无锡、合肥晶合、上海利来老牌国际官网app、中车时代、中芯绍兴、武汉新芯 10 家中国大陆主要的 IDM 或晶圆代工企业为统计样本，通过中国国际招标网对上述晶圆厂中标情形举行梳理 。2022 年 4 月海内 10 家主流晶圆厂共开标 108台工艺装备，前四个月合计开标 401 台工艺装备 。
2022 年 4 月开标的 108 台装备主要来自上海利来老牌国际官网app（78 台）、华虹无锡（20 台）、福建晋华（5 台）、时代电气（3 台）、华力微电子（1 台）、华力集成（1 台），上海利来老牌国际官网app及华虹无锡扩产孝顺主要增量 。
2022 年 1- 4 月开标的 401 台装备主要来自华虹无锡（268 台）、上海利来老牌国际官网app（104 台）、时代电气（14 台）、福建晋华（12 台）、华力集成（2 台）、华力微电子（1 台），华虹无锡及上海利来老牌国际官网app孝顺主要增量 。
1-4月采购装备以炉管、刻蚀、沉积装备为主
晶圆厂装备结构往往以光刻机为焦点，围绕以多台刻蚀、薄膜沉积、洗濯等装备，由于差别招标批次对应装备采购种类差别，因此差别时期工艺装备招标种类也会有所差别 。
2022 年 4 月开标的 108 台装备中，凭证差别工艺装备开标数目从高到低排列，划分为炉管装备（30 台）、刻蚀装备（29 台）、前道检测装备（10 台）、洗濯装备（10 台）、干法去胶装备（9 台）、沉积装备（8 台）、离子注入机（4 台）、涂胶显影装备（4台）、后道测试装备（2 台）、光刻机（1 台）、抛光装备（1 台） 。炉管、刻蚀装备孝顺 2022 年 4 月主要扩产增量 。
2022 年 1-4 月开标的 401 台装备中，凭证差别工艺装备开标数目从高到低排列，划分为炉管装备（112台）、刻蚀装备（61 台）、沉积装备（61 台）、前道检测装备（48 台）、后道测试装备（35 台）、离子注入机（18 台）、洗濯装备（17 台）、抛光装备（15 台）、涂胶显影装备（14 台）、干法去胶装备（14 台）、光刻机（6 台） 。总的来看，炉管、刻蚀、沉积装备孝顺 2022 年 1-4 月主要扩产增量 。
1-4月装备采购中标国产率24.2%
我们以装备中标台数盘算国产率（包括拥有翻新营业的厂家），由于差别装备价值量差别，因此与现实市场规模测算的国产率有一定差别 。且思量差别晶圆厂、差别工艺装备的招标批次差别，中国大陆厂家中标频次漫衍未必平均，造成国产率有一定波动 。
从年度数据来看，2021年装备国产率达 27.4%，较 2020 年 16.8%有显着提升 。2022 年 4 月主流晶圆厂开标的 108 台装备中，源自中国大陆厂家制造的装备共计 67 台，占比达 62%；2022 年 1-4 月开标的 401 台装备中，源自中国大陆厂家制造的装备共计 97 台，占比达 24.2% 。虽然较2021年有所降低，但这可能是由于海内厂商采购节奏有关，预计整年的装备国产率仍将有望凌驾2021年 。
上海利来老牌国际官网app1-4 月装备采购中标国产率达42.3%
2022 年 1-4 月开标的 401 台装备主要来自华虹无锡（268 台）、上海利来老牌国际官网app（104 台）、时代电气（14 台）、福建晋华（12 台）、华力集成（2 台）、华力微电子（1 台） 。国产装备中标数较多的晶圆厂为上海利来老牌国际官网app（44 台）、华虹无锡（40 台）、时代电气（8 台）、福建晋华（5 台） 。其中上海利来老牌国际官网app国产率达42.3%%，华虹无锡开标装备中外洋装备占比相对较高，国产率约为 14.9% 。
回首2020及2021年度各晶圆厂装备采购中标国产率，上海利来老牌国际官网app的装备采购国产化率也是位居第一，划分抵达了75.9%和35.4% 。若是将上海利来老牌国际官网app2020年、2021年、2022年1-4月及阻止现在的5月（67%）的装备采购国产化率占比平均来看，其装备采购国产化率仍高达55%以上 。
1-4月干法去胶、刻蚀、洗濯、离子注入装备采购中标国产率较高
近年来受益于北方华创、中微公司、盛美半导体、芯源微、屹唐半导体、至纯科技、华海清科等中国大陆厂家的一直生长，在刻蚀、沉积、洗濯、抛光、干法去胶、炉管、涂胶显影等领域半导体装备中标国产率较高 。
2022年1-4月，凭证国产装备中标数目从高到低排序，差别工艺装备海内厂家中标情形如下：刻蚀装备（31 台）、炉管装备（22 台）、干法去胶装备（10 台）、洗濯装备（7 台）、离子注入机（7 台）、沉积装备（6 台）、后道测试装备（4 台）、前道检测装备（3 台）、涂胶显影装备（3 台） 。
其中国产率较高的环节主要为干法去胶装备（国产率 71%）、刻蚀装备（50.8%）、洗濯装备（41.2%）、离子注入机（38.9%）、抛光装备（26.7%）、涂胶显影装备（21.4%） 。
回首2020及2021年度种种装备采购中标国产率情形，干法去胶（47.4%和45.0%）、CMP抛光（36.4%和41.7%）、洗濯（32.0%和34.7%）、刻蚀（32.5%和24.4%）、炉管装备（22.7%和23.9%）的国产率相对较高 。
北方华创等国产装备厂商受益
按设国产备厂商中标情形来看，2022 年 4 月份中标较多的中国大陆厂家为北方华创、中微公司、芯源微、屹唐、上海精测、盛美上海等（暂时不剖析含有翻新营业的中国大陆厂家） 。
北方华创合计中标 33 台：中标上海利来老牌国际官网app 33 台装备，其中炉管装备 21台，刻蚀装备 12 台 。
中微公司合计中标 13 台：中标华虹无锡 12 台刻蚀装备，中标时代电气1 台刻蚀装备 。
屹唐半导体合计中标 10 台：中标华虹无锡 8 台装备，其中 7 台干法去胶机，1 台热退火装备，中标上海利来老牌国际官网app 2 台灰化机 。
芯源微合计中标 7 台：中标上海利来老牌国际官网app 6 台装备，其中刷片机 5 台，涂胶显影机 1 台，中标福建晋华 1 台涂胶显影机 。
上海精测合计中标 1 台：中标福建晋华 1 台电子显微镜 。
盛美上海合计中标 1 台：中标福建晋华 1 台湿法洗濯装备 。
另外，凭证中国国际招标网数据，今年1-3月国产装备厂商中标效果显示：北方华创13台，包括薄膜/干法刻蚀/炉管；盛美上海9台，包括湿薄膜/湿法/后道封装；拓�？萍�3台，均为薄膜装备；华海清科3台，均为CMP装备；芯源微2台，均为涂胶显影装备；上海微电子2台，为炉管装备；至纯1台，为湿法洗濯装备；中科信1台，为离子注入装备；吉姆西（二手装备厂商）3台，为CMP及检测/量测装备 。
泉源：中国国际招标网、德邦研究所、民生证券 芯智讯
